فرآیند دفع بخار شیمیایی

فرآیند رسوب شیمیایی بخار

فرآیند رسوب بخار شیمیایی به سه مرحله مهم تقسیم می شود: گاز واکنش به سطح بستر پخش می شود ، گازهای واکنش در سطح بستر جذب می شوند ، یک واکنش شیمیایی روی سطح بستر ایجاد می شود تا یک رسوب جامد تشکیل شود ، و فرآورده های فرعی گاز از سطح بستر جدا می شوند. رایج ترین واکنشهای رسوب بخار شیمیایی عبارتند از: واکنشهای تجزیه حرارتی ، واکنشهای سنتز شیمیایی و واکنشهای حمل و نقل شیمیایی. معمولاً TiC یا TiN با وارد کردن TiCl4 ، H2 ، CH4 و سایر گازها به داخل اتاق واکنش با 1100 8 850 ited رسوب می شود و از طریق واکنش شیمیایی با تشکیل یک پوشش روی سطح زیرلایه.