اصول اساسی میکروسکوپ الکترونی روبشی
پرتو الکترونی ساطع شده توسط تفنگ الکترونی میکروسکوپ الکترونی روبشی متمرکز شده و در یک منبع نور نقطه ای متراکم می شود. منبع نور نقطه ای یک پرتو الکترون با انرژی بالا را تحت یک ولتاژ شتاب دهنده تشکیل می دهد. پرتوی الکترون پرانرژی از طریق دو عدسی الکترومغناطیسی به یک نقطه نور با قطر کوچک متمرکز می شود و از آخرین عبور می کند. مانند روش اسکن ، و در عین حال سیگنال های الکترونیکی با عمق مختلف را تحریک می کند.