ویژگی های لیزر excimer
1. excimer وجود دارد به شکل حالت هیجان زده, با طول عمر کوتاه, تنها 10^(-8)S بزرگی, و حالت زمین 10^(-13)بزرگی. گذار در حالت هیجان زده پایین و حالت دافعه زمین (یا (ضعیف محدود)، طیف فلورسانس یک باند پیوسته است.
۲- از آنجا که طیف فلورسانس آن یک باند پیوسته است، می تواند به عملیات قابل تنظیم طول موج پی رود.
3. با توجه به گسست سریع از ions در سطح انرژی پایین تر (حالت زمین) از انتقال لیزر، سطح انرژی پایین تر از لیزر اساسا خالی است، و آن را آسان برای رسیدن به وارونگی جمعیت، بنابراین بهره وری کوانتومی بسیار بالا است، نزدیک به 100٪، و می تواند در فرکانس تکرار بالا عمل می کنند. .
4. طول موج لیزر خروجی عمدتا در ماورای بنفش به محدوده نور مرئی، با طول موج کوتاه، فرکانس بالا، انرژی بزرگ، نقطه کانونی کوچک، و وضوح پردازش بالا، که مناسب تر برای پردازش لیزر با کیفیت بالا است.